금속 산화물 반도체 센서, 가스를 흡착하는 방식으로, 반도체 표면에 가스가 접촉되면 저항치가 변화되는 양을 검출한다. 통상 200~500℃ 온도 범위에서 사용할 수 있기 때문에, 센서 소자에 전극을 겸한 히터를 보충해 넣거나 소자 주변에 히터를 배치한 것이 많다.