일반적으로 사용되는 가속도 센서는 사이즈모 시스템이라 불리는 스프링과 질량으로 되는 시스템의 변위를 측정하는 방식이다. 질량 부분의 고유 각 진동수에 비하여 측정하는 각 진동수가 낮은 경우 질량 부분의 변위는 각 진동수가 낮은 경우 질량 부분의 변위는 거의 가속도에 대응한다. 이런 종류의 가속도 센서로서는 가동 코일형, 압전형, 정전 용량형, 변형 게이지형, 서보형, 차동 트랜스형 등이 있다. 최근에는 실리콘 반도체 가속도 센서가 개발되어 있다. 1개의 실리콘 칩 위에 길이가 다른 빔을 다수 형성시켜 주파수 분석적인 방법이 가능한 세서도 시험 제작되고 있다.